真空箱式氣氛爐真空度分析
真空箱式氣氛爐簡介:
真空箱式氣氛爐是一款箱式電阻爐做密封處理,加裝進出氣裝置,實現預抽真空及通入保護氣氛的箱式電阻爐。
真空箱式氣氛爐分類:
1、按照設計溫度劃分:1200℃系列、1400℃系列、1700℃系列、1800℃系列、2000℃以上系列
2、按照真空度高低劃分:低真空系列、高真空系列
真空箱式氣氛爐結構分析:
1、普通箱式電阻爐整體外殼密封處理,一般采用外殼鋼板焊接,爐門采用硅膠密封條;爐膛材質一般為氧化鋁纖維材質;此類真空氣氛爐一般真空度不會太高,因為爐膛材料結構不夠致密有空隙,很難把真空度抽到很低,一般真空在100Pa以上;如果實現高真空需要配置機械真空泵加擴散泵組實現
2、高溫真空箱式氣氛爐一般采用石墨加熱方式,外殼帶有水冷降溫系統;此類真空箱式氣氛爐可以實現高溫、高真空
3、還有一種是高頻感應加熱類真空箱式氣氛爐,加熱采用電頻加熱,水冷殼體設計,此類也可以實現高溫,高真空
真空箱式氣氛爐真空度的實現:
1、低真空一般采用單級機械真空泵抽取
2、高真空一般采用機械真空泵+擴散泵或者分子泵實現